VHP300/50-2000真空熱壓中頻爐技術參數

(一)VHP300/50-2000真空熱壓中頻爐技術參數：

1最高溫度：2000℃；

2工作溫度：1800℃；

3升溫時間：由室溫升至2000℃≤120min（空爐）；

4工作區尺寸：φ300×300mm (直徑×高度)； 

5冷態極限真空度：≤5*10－4Pa；

6熱態極限真空度: ≤5*10－3Pa(空爐 1600℃)；

7壓升率：≤0.3Pa/h；

8壓機噸位：50T；

9水冷壓頭直徑：φ130mm；

10壓頭行程：150 mm；

11控溫精度：±1℃；

12均溫性：±5℃（950℃恒溫30分鐘 K偶測量）；

13可充惰性氣體保護，達到微正壓(≤0.11MPa 絕壓)；

14加壓方式:上壓頭單向加壓;

15測溫方式: 雙鉑銠熱電偶（低溫段），高溫紅外測溫儀（高溫段）。

（二）VHP300/50-2000真空熱壓中頻爐安裝條件：

1）爐體占地面積：3000*3000(mm)；

總面積：5000*5000（mm）；

2）安裝形式：立式；

3）電源：180kw，380V；

4）水源：壓力≥0.2MPa，流量≥5t/h；

（三）VHP300/50-2000真空熱壓中頻爐機械結構：

1）加熱室：

用于真空或保護氣氛；加熱器為鎢網，在均溫區外環形分布；并分為兩部分，一部分隨爐門開啟，另一部分固定在爐體內，方便裝卸模具；保溫材料從里到外依次為鎢屏、鉬屏、不銹鋼反射屏，不銹鋼外殼；為獲得較好的保溫效果，節省能源，在反射屏外層安裝一層莫來石保溫層；鎢網三區分布，保證了最佳的溫度均勻性和工件的均勻受熱。發熱體更換方便。整個加熱區可以作為一個結構完備的部件被拆卸出來，便于維護和修理。

2）爐體：

立式安裝，前開門方式；雙層水冷結構，內外層均為不銹鋼；內部按高真空要求拋光，外表面噴砂處理；爐體上設有真空接口、電極引入裝置、熱偶測溫裝置、光學測溫裝置、充氣裝置、放氣裝置；爐體與爐門密封結構為法蘭形式，手輪螺栓鎖緊。異型密封圈更好的保證密封低泄漏。

3）真空系統：

為三級高真空機組（分子泵/羅茨泵/旋片泵）；配置為FF-400型復合分子泵/ZJP70羅茨泵/TRP48直聯泵；初抽管路配置分子篩過濾器，保護真空元件；附件為波紋管、支架、檢漏接口等；主要的工藝真空閥門均為氣動或電動；

4）充放氣系統：

高溫下可充入高純氮氣、氬氣等惰性氣體，在常溫時可開放氣閥用于破壞真空；由電磁閥、流量計及管路構成，可設定不同的充氣壓力范圍，通過壓力開關可自動充氣和補氣；充氣閥門及管道位于爐體側面下部，放氣閥門及管道位于對面上部。

5）氣控系統：

由氣動三聯件、電磁換向閥、管路構成；用來驅動各系統的氣動閥門；

6）水冷系統：

根據真空爐各部分對冷卻水的要求，制作分水排及積水排、由閥門、管路等組成；開放式不銹鋼水箱回水；對爐體、爐門、真空系統、水冷壓頭、水冷電極等進行冷卻；其中總進水管路安裝水壓傳感器；

7）壓力機及液壓系統：

壓機型式采取雙梁四柱式，輸出壓力范圍為3--50T；具有較大的工作平臺，用來放置真空爐體。為了保證上下壓頭的平行度，爐體上的水冷壓頭與油缸的連接方式為法蘭連接；專用的液壓系統，具有壓力及位移控制功能，用來驅動油缸；壓力控制閥門采用意大利阿托斯產品，自動整定次級壓力，并能有效補償由于熱延展帶來的壓力波動，精度控制1%，具有泄壓與保壓功能，用來驅動壓頭；位移控制閥門采用意大利阿托斯產品，自動整定次級流量，精度控制≤1mm；加壓可分別采用壓力模式或位移模式：壓力模式即采用比例減壓閥控制出口油壓，按用戶設定壓力給工件加壓；位移模式即在最高壓力以內，采用比例流量閥控制出口流量，使壓頭按用戶設定的速度移動。兩種模式均可手動及程序控制；壓頭行程150mm；測距采用電阻位移計；

8）電控系統：

l電源柜加用電計量表，用于計量設備用電量；具有手動及自動兩種控制方式，采用并聯方式，兩種方式可自動轉換；手動方式采用按鈕或旋鈕操作；自動控制采用可編程控制器PLC（歐姆龍CP1E）及工控機、觸摸屏，根據工藝要求，自主開發組態二次軟件對設備進行自動控制。

http://www.minglusc.com/BdwlkjNews.asp?id=574